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扫描电镜使用时为何要抽真空呢与扫描电镜需要真空环境的原因
2025-01-20IP属地 亚太地区1

扫描电镜(SEM)使用时需要抽真空的主要原因包括。

1、排除空气对电子束的干扰:电子束在SEM中起着关键作用,其运动受到真空中电磁透镜的控制和引导,空气中的分子会与电子发生碰撞,干扰电子束的运动,从而影响成像质量,为了获得清晰的图像,必须排除空气中的干扰因素。

扫描电镜使用时为何要抽真空

2、防止样品受到污染和氧化:在高能电子束的轰击下,样品可能会产生各种气体分子,如氧气和水蒸气等,如果SEM腔体内不抽真空,这些气体分子可能附着在样品表面造成污染或使样品氧化,从而影响观测结果,空气中的其他成分也可能与电子束产生反应,导致图像失真或损坏仪器。

3、避免透镜性能受影响:SEM中的电磁透镜需要在真空环境中工作,空气中的分子附着在透镜上会导致其性能下降,保持真空状态可以确保电磁透镜的正常工作。

扫描电镜使用时为何要抽真空

扫描电镜需要真空环境的原因主要是为了获得清晰的图像、保护样品免受污染和氧化以及确保仪器中透镜的正常工作,在SEM使用过程中,真空环境的维持至关重要。